[4.6.2預防性維護/肇因分析] FDC系統導入案:
發表年月 2001-01 應用領域 AI 大數據應用應用/研究單位 先知科技股份有限公司
(一). 計畫緣起 A. 廠方面臨問題: 1.製程日益精密、客戶要求全檢、量測產能已達上限 2.製程不穩定無法進行有效控制 3.首批需要投Dummy片驗證,需耗時半天 4.Layer量測難度大(破壞性檢驗),無法全檢。 B. 執行步驟: 執行與整合步驟為: Step1. 建立AVM系統:完成100%全檢目標 Step2. 整合SPC系統:將AVM預測結果整合廠內SPC系統 Step3. 整合Alarm系統:將AVM預測結果依廠內Alarm 原則整合廠內Alarm系統 Step4. 整合Scheduler系統:建立智慧化抽檢機制 Step5. 整合當站製程:進行Feedback Control Step6. 整合後站製程:進行Feedforward Control 。 其中,Step4. 整合Scheduler系統:建立智慧化抽檢機制,需考量9項實務整合因素如下: 1.抽樣比例 2.機台穩定性 3.機台資料異常 4.AVM 模型狀態 5.預測精度水準 6.量測異常 7.產線排程穩定性 8.狀態改變: 調機或清機等。
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